Back ثلاثي فلوريد الكلور Arabic تریفلورید کولور AZB Fluorid chloritý Czech Klortrifluorid Danish Chlortrifluorid German Τριφθοριούχο χλώριο Greek Chlorine trifluoride English Trifluoruro de cloro Spanish تریفلورید کلر Persian Klooritrifluoridi Finnish
| Substància química | tipus d'entitat química  |
|---|---|
| Massa molecular | 91,964 Da |
| Estructura química | |
 | |
| SMILES canònic | |
| Identificador InChI | Model 3D |
| Propietat | |
| Densitat | 1,77 g/cm³ (a 53 °F, líquid) |
| Moment dipolar elèctric | 0,6 D |
| Punt de fusió | −76 °C −76,34 °C |
| Punt d'ebullició | 12 °C (a 760 Torr) 11,75 °C (a 101,325 kPa) |
| Moment dipolar elèctric | 0,6 D |
| Pressió de vapor | 1,4 atm (a 20 °C) |
| Perill | |
| Límit d'exposició sostre | 0,4 mg/m³ (Estats Units d'Amèrica) |
| IDLH | 75,6 mg/m³ |
| NFPA 704: Standard System for the Identification of the Hazards of Materials for Emergency Response () | |
El trifluorur de clor és un compost interhalògen de fórmula ClF₃. És un gas incolor i tòxic, corrosiu i extremadament reactiu que es condensa en un líquid de color groc pàl·lid-verdós, la forma en què més sovint es ven (a pressió a temperatura ambienti). El compost es fa servir principalment com a component de combustibles per a coets, en les operacions industrials de neteja i decapat en la indústria de semiconductors, en el processament de combustible nuclear de reactors, i altres operacions industrials.[1][2][3][4]
- ↑ Hitoshi Habuka, Takahiro Sukenobu, Hideyuki Koda, Takashi Takeuchi, and Masahiko Aihara «Silicon Etch Rate Using Chlorine Trifluoride». Journal of the Electrochemical Society, 151, 11, 2004, pàg. G783–G787. DOI: 10.1149/1.1806391.
- ↑ «United States Patent 5849092 "Process for chlorine trifluoride chamber cleaning"». Arxivat de l'original el 2012-02-05. [Consulta: 18 juny 2017].
- ↑ Board on Environmental Studies and Toxicology, (BEST). Acute Exposure Guideline Levels for Selected Airborne Chemicals: Volume 5 (citation at the National Academies Press). Washington D.C.: National Academies Press, 2006, p. 40. ISBN 0-309-10358-4.
- ↑ «United States Patent 6034016 "Method for regenerating halogenated Lewis acid catalysts"». Arxivat de l'original el 2011-05-15. [Consulta: 18 juny 2017].